Force detection system in semi-conductor micro-mechanic structures

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	DUMANIA PIOTR, GRZYWACKI MIROS AW, GRABIEC PIOTR, SKWARA KARINA, DOBROWOLSKI RAFA, BUDZY SKI TADEUSZ, SZMIGIEL DARIUSZ, YSKO JAN M
Format:	Patent
Sprache:	eng ; pol
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY MEASURING MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER,MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE PHYSICS SEMICONDUCTOR DEVICES TESTING
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