Process for producing p-GaN layers

The invention relates to the semiconductor device manufacturing technology, in particular to processes for producing crystalline layers of III-N compounds with p-type electrical conduction on heterogeneous substrates.The process for producing p-GaN layers comprises the deposition on a heterogeneous...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: GORCEAC Leonid, BOTNARIUC Vasile, RAEVSCHI Simion
Format: Patent
Sprache:eng ; rum ; rus
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