감광성 수지 조성물, 경화물, 적층체, 경화물의 제조 방법, 적층체의 제조 방법, 반도체 디바이스의 제조 방법, 및, 반도체 디바이스

하기 식 (1)로 나타나는 반복 단위를 포함하는 폴리이미드 전구체와, 중합성 화합물과, 광중합 개시제를 함유하는 감광성 수지 조성물, 경화물, 적층체, 경화물의 제조 방법, 적층체의 제조 방법, 반도체 디바이스의 제조 방법, 및, 반도체 디바이스; Z1은 2개 이상의 에터기와, 벤젠환 구조를 포함하는 유기기, Y1은 유기기, A1 및 A2는 각각 독립적으로, 산소 원자 또는 -NRZ-, RZ는 수소 원자 또는 유기기, R1 및 R2는 각각 독립적으로, 수소 원자 또는 유기기, R1 및 R2 중 적어도 하나는 에틸렌성 불포화 결합을...

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	NOZAKI ATSUYASU
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR BASIC ELECTRIC ELEMENTS CHEMISTRY CINEMATOGRAPHY COMPOSITIONS BASED THEREON ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVINGCARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONSONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS MATERIALS THEREFOR METALLURGY ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS SEMICONDUCTOR DEVICES THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP
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Beschreibung
Zusammenfassung:	하기 식 (1)로 나타나는 반복 단위를 포함하는 폴리이미드 전구체와, 중합성 화합물과, 광중합 개시제를 함유하는 감광성 수지 조성물, 경화물, 적층체, 경화물의 제조 방법, 적층체의 제조 방법, 반도체 디바이스의 제조 방법, 및, 반도체 디바이스; Z1은 2개 이상의 에터기와, 벤젠환 구조를 포함하는 유기기, Y1은 유기기, A1 및 A2는 각각 독립적으로, 산소 원자 또는 -NRZ-, RZ는 수소 원자 또는 유기기, R1 및 R2는 각각 독립적으로, 수소 원자 또는 유기기, R1 및 R2 중 적어도 하나는 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 유기기이다. JPEGpct00075.jpg4071 The present invention provides: a photosensitive resin composition which contains a polyimide precursor that contains a repeating unit represented by formula (1), a polymerizable compound and a photopolymerization initiator; a cured product; a multilayer body; a method for producing a cured product; a method for producing a multilayer body; a method for producing a semiconductor device; and a semiconductor device. In the formula, Z1 represents an organic group which comprises two or more ether groups and a benzene ring structure; Y1 represents an organic group; each of A1 and A2 independently represents an oxygen atom or -NRZ-; RZ represents a hydrogen atom or an organic group; each of R1 and R2 independently represents a hydrogen atom or an organic group; and at least one of R1 and R2 represents an organic group that has an ethylenically unsaturated bond.