Magnetic memory device
소자 특성 및 공정 마진이 향상된 자기 메모리 장치가 제공된다. 자기 메모리 장치는, 셀 영역과 주변 영역을 포함하는 기판, 셀 영역 상에 배치되고, 하부 전극과, 자기 터널 접합 패턴과, 상부 전극을 포함하는 정보 저장 패턴, 정보 저장 패턴 상에 배치되고, 정보 저장 패턴과 연결된 셀 상부 컨택 및 정보 저장 패턴 상에 배치되고, 셀 상부 컨택의 측벽을 감싸는 상부 식각 정지막을 포함하고, 상부 식각 정지막은 몸체부와, 복수의 제1 돌출부와, 복수의 제2 돌출부를 포함하고, 평면도적 관점에서, 상부 식각 정지막의 몸체부는 제1...
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| Hauptverfasser: | , |
|---|---|
| Format: | Patent |
| Sprache: | eng ; kor |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Volltext bestellen |
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