MASS SPECTROMETER AND MASS SPECTROMETRY SYSTEM

과제 : 시험체로부터 도입되는 가스의 성분을 분석하는 질량 분석계를 필라멘트 교환 작업성이 양호한 것으로 한다. 해결 수단 : X축 방향으로 연장되는 주관부(31)와 주관부로부터 분기되어 X축 방향에 직교하는 Z축 방향 한쪽으로 연장되는 분기관부(32)를 갖는 엔벨로프(3)를 구비한다. 분기관부에 전환 밸브(34)를 통해 시험체(Vc)에 접속된다, 주관부 내에 X축 방향 하류를 향해 이온 소스(4)와 질량 분리부(5)와 검출부(6)가 순차적으로 격납되고, 주관부의 타단에 제어 유닛(7)이 연결된다. 이온 소스가 X축 방향 일단측에...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	MIYASHITA TAKESHI, KUROKAWA YUUJIROU, NAKAMOTO TAIGA, NAKAJIMA TOYOAKI, TANAKA RYOUTA
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRICITY INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING PHYSICS TESTING
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creator	MIYASHITA TAKESHI KUROKAWA YUUJIROU NAKAMOTO TAIGA NAKAJIMA TOYOAKI TANAKA RYOUTA
description	과제 : 시험체로부터 도입되는 가스의 성분을 분석하는 질량 분석계를 필라멘트 교환 작업성이 양호한 것으로 한다. 해결 수단 : X축 방향으로 연장되는 주관부(31)와 주관부로부터 분기되어 X축 방향에 직교하는 Z축 방향 한쪽으로 연장되는 분기관부(32)를 갖는 엔벨로프(3)를 구비한다. 분기관부에 전환 밸브(34)를 통해 시험체(Vc)에 접속된다, 주관부 내에 X축 방향 하류를 향해 이온 소스(4)와 질량 분리부(5)와 검출부(6)가 순차적으로 격납되고, 주관부의 타단에 제어 유닛(7)이 연결된다. 이온 소스가 X축 방향 일단측에 배치되는 필라멘트(41)와, 필라멘트의 X축 방향 하류에 위치하여 열전자에 소정의 운동을 부여하는 운동 부여실(42)과, 운동 부여실의 X축 방향 하류측에 위치하여 가스를 이온화하는 이온화실(43)을 가진다. 주관부의 일단을 개폐 가능하도록 폐색하는 덮개판(31a)을 추가로 구비하고, 분기관부 내에, 그 선단부가 주관부 내로 돌출되어 이온화실로 연장되는 내관(35)이 삽입 설치된다.
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