LOAD LOCK DEVICE

로드 로크 장치는, 감압 처리 장치와 접속되는 트랜스퍼실과 접속되는 제1 반송구, 및 로더실과 접속되는 제2 반송구를 갖는 로드 로크실과, 상기 로드 로크실 내에서 기판을 보유 지지하는 기판 홀더와, 상기 기판 홀더를 승강시키도록 상기 로드 로크실의 하방에 배치되고, 연결 부재를 통해 상기 기판 홀더에 연결된 구동 기구와, 상기 로드 로크실의 하부로부터 측방으로 연장된 연장실과, 상기 연장실의 하방에 배치되고 상기 연장실을 통해 상기 로드 로크실의 가스를 배출하는 펌프를 구비한다. 상기 연장실은, 상기 기판 홀더의 연직 하방으로부터 벗어난 위치에 개구를 갖는 저면을 갖고, 상기 개구에 상기 펌프가 접속되어 있다. A load lock device includes a load lock chamber including a first conveyance port connected to a transfer chamber connected to a reduced-pressure processing device, and a second conveyance port connected to a loader chamber; a substrate holder configured to hold a substrate in the load lock chamber; a driving mechanism arranged below the load lock chamber to move the substrate holder up and down and connected to the substrate holder via a connecting member; an extension chamber extended from a lower portion of the load lock chamber to a side; and a pump arranged below the extension chamber and configured to discharge a gas in the load lock chamber via the extension chamber. The extension chamber includes a bottom surface with an opening at a position deviated from a vertically lower position of the substrate holder, and the pump is connected to the opening.