Substrate processing apparatus and substrate processing method
본 발명은, 기판처리장치 및 기판처리방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 공정가스 분사를 통해 기판처리를 수행하는 기판처리장치 및 기판처리방법에 관한 것이다. 본 발명은, 기판처리를 위한 처리공간을 형성하는 공정챔버(10)와; 상기 처리공간에 설치되며, 기판을 지지한 상태에서 공정 전체시간 동안 회전하는 기판지지부(20)와; 상기 기판 일측에서 상기 기판을 향해 공정가스를 상기 전체시간 중 일부시간 동안 분사하는 가스분사부(30)와; 상기 기판 상 상기 공정가스가 균일하게 분사되도록 상기 기판지지부(20)의 회전속도를 결정하는 제...
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Format: | Patent |
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creator | LEE TAE WAN LEE HONG DEOK MUN SAE CHAN NOH JIN TAE HONG YOUNG JUN HAN SEOK JUN |
description | 본 발명은, 기판처리장치 및 기판처리방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 공정가스 분사를 통해 기판처리를 수행하는 기판처리장치 및 기판처리방법에 관한 것이다. 본 발명은, 기판처리를 위한 처리공간을 형성하는 공정챔버(10)와; 상기 처리공간에 설치되며, 기판을 지지한 상태에서 공정 전체시간 동안 회전하는 기판지지부(20)와; 상기 기판 일측에서 상기 기판을 향해 공정가스를 상기 전체시간 중 일부시간 동안 분사하는 가스분사부(30)와; 상기 기판 상 상기 공정가스가 균일하게 분사되도록 상기 기판지지부(20)의 회전속도를 결정하는 제어부를 포함하며, 상기 제어부는, 상기 전체시간 동안 상기 회전속도에 따른 상기 공정가스의 상기 기판 상 분사산포를 산출하여, 최적의 회전속도를 결정하는 기판처리장치를 개시한다. |
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상기 처리공간에 설치되며, 기판을 지지한 상태에서 공정 전체시간 동안 회전하는 기판지지부(20)와; 상기 기판 일측에서 상기 기판을 향해 공정가스를 상기 전체시간 중 일부시간 동안 분사하는 가스분사부(30)와; 상기 기판 상 상기 공정가스가 균일하게 분사되도록 상기 기판지지부(20)의 회전속도를 결정하는 제어부를 포함하며, 상기 제어부는, 상기 전체시간 동안 상기 회전속도에 따른 상기 공정가스의 상기 기판 상 분사산포를 산출하여, 최적의 회전속도를 결정하는 기판처리장치를 개시한다.</description><language>eng ; kor</language><subject>BASIC ELECTRIC ELEMENTS ; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ; ELECTRICITY ; SEMICONDUCTOR DEVICES</subject><creationdate>2024</creationdate><oa>free_for_read</oa><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><linktohtml>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20240904&DB=EPODOC&CC=KR&NR=20240132759A$$EHTML$$P50$$Gepo$$Hfree_for_read</linktohtml><link.rule.ids>230,308,780,885,25564,76547</link.rule.ids><linktorsrc>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20240904&DB=EPODOC&CC=KR&NR=20240132759A$$EView_record_in_European_Patent_Office$$FView_record_in_$$GEuropean_Patent_Office$$Hfree_for_read</linktorsrc></links><search><creatorcontrib>LEE TAE WAN</creatorcontrib><creatorcontrib>LEE HONG DEOK</creatorcontrib><creatorcontrib>MUN SAE CHAN</creatorcontrib><creatorcontrib>NOH JIN TAE</creatorcontrib><creatorcontrib>HONG YOUNG JUN</creatorcontrib><creatorcontrib>HAN SEOK JUN</creatorcontrib><title>Substrate processing apparatus and substrate processing method</title><description>본 발명은, 기판처리장치 및 기판처리방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 공정가스 분사를 통해 기판처리를 수행하는 기판처리장치 및 기판처리방법에 관한 것이다. 본 발명은, 기판처리를 위한 처리공간을 형성하는 공정챔버(10)와; 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