Substrate process baffle substrate process apparatus including the same and substrate process method using the same
제1 방향으로 연장되는 중심 축을 갖는 플레이트 바디; 상기 플레이트 바디 상의 상부 바디; 및 상기 제1 방향에 교차되는 수평 방향인 제2 방향으로 연장되는 복수 개의 분할 부재; 를 포함하되, 상기 플레이트 바디는: 상기 플레이트 바디의 상면과 하면을 연결하는 미세 유로; 및 상기 플레이트 바디의 상기 상면으로부터 밑으로 함입되는 결합공; 을 제공하고, 상기 복수 개의 분할 부재는 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향의 각각에 교차되는 제3 방향으로 이격 배치되되, 상기 복수 개의 분할 부재는 상기 결합공보다 밑에 위치하는 기판...
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| Hauptverfasser: | , , |
|---|---|
| Format: | Patent |
| Sprache: | eng ; kor |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Volltext bestellen |
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