히터

본 발명에 따르면, 원판형 형상을 갖는 기체와, 상기 기체의 내부에 배치된 고주파 전극과, 상기 기체의 내부에 배치된 발열체와, 통형 형상을 갖는 지지체를 구비하고, 상기 기체는, 가열 대상이 배치되는 제1 면과, 상기 지지체의 제1 단부가 부착된 제2 면과, 상기 제1 면및 상기 제2 면에 이어지는 유로를 구비하고, 상기 유로는, 상기 제1 면 측에 형성된 흡기구를 갖는 제1 유로와, 상기 제2 면 측에 있어서의 상기 지지체의 내측 영역에 형성된 배기구를 갖는 제2 유로와, 상기 제1 유로와 상기 제2 유로를 잇는 제3 유로를 구...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	ITAKURA KATSUHIRO, SHIMAO DAISUKE, SAKITA SHIGENOBU, KIMURA KOICHI, SAKAGUCHI KOHEI
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL METALLURGY SEMICONDUCTOR DEVICES SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!