히터

본 발명에 따르면, 원판형 형상을 갖는 기체와, 상기 기체의 내부에 배치된 고주파 전극과, 상기 기체의 내부에 배치된 발열체와, 통형 형상을 갖는 지지체를 구비하고, 상기 기체는, 가열 대상이 배치되는 제1 면과, 상기 지지체의 제1 단부가 부착된 제2 면과, 상기 제1 면및 상기 제2 면에 이어지는 유로를 구비하고, 상기 유로는, 상기 제1 면 측에 형성된 흡기구를 갖는 제1 유로와, 상기 제2 면 측에 있어서의 상기 지지체의 내측 영역에 형성된 배기구를 갖는 제2 유로와, 상기 제1 유로와 상기 제2 유로를 잇는 제3 유로를 구비하고, 상기 고주파 전극, 상기 발열체 및 상기 제3 유로 각각은 상기 제1 면에 평행한 면 내에 배치되어 있고, 상기 발열체 및 상기 제3 유로는 상기 고주파 전극보다도 상기 제2 면 측에 배치되어 있는 히터를 제공한다. A heater comprising a base body having a circular plate-form shape, a high-frequency electrode disposed inside the base body, a heat-generating body disposed inside the base body, and a support body having a cylindrical shape. The base body is provided with a first surface on which an object being heated is placed, a second surface to which a first end section of the support body is attached, and a flow path linked to the first and second surfaces. The flow path is provided with a first flow path having an intake port provided on the first-surface side, a second flow path having an exhaust port provided in a region on the second-surface side that is located inward from the support body, and a third flow path linking the first and second flow paths. The high-frequency electrode, the heat-generating body, and the third flow path are each disposed in a plane parallel to the first surface. The heat-generating body and the third flow path are disposed closer to the second-surface side than is the high-frequency electrode.