EUV 타겟 물질 회수 장치

도관의 비수평 내부 표면에 걸쳐 용융된 타겟 물질의 유동을 방해하는 유동 방해물이 제공되어 용융된 타겟 물질이 내부 표면 상에서 동결되고 내부 표면에 포획되도록 하는, EUV 시스템용 도관 구조체가 개시된다. 타겟 물질의 액적이 도관을 통과해 EUV 챔버 밖으로 향하는 경우, 도관의 측면 상의 유동 방해물은 원래 도관의 상부 표면에 의해 포획되어 측벽으로 흐르는 용융된 타겟 물질이 측벽에 부착되어 실제 액적 경로를 배제하지 않도록 한다. 이는 도관 내의 개구부가 의도된 유동이 가능하게끔 유지될 수 있도록 한다. 도관 구조체는, 예를...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	MA YUE, DEBRUIN DANIEL STEVEN, BOMMER SEBASTIAN, DOROBANTU ANDREI, GANDHI ARPIT HEMANTKUMAR, RAJAVELU MURALIDHAR SHIVA KUMARA THEJASVI, DZIOMKINA NINA VLADIMIROVNA, BRIZUELA FERNANDO
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY X-RAY TECHNIQUE
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!