3 3-dimensional graphene nano-structure coating euipment

본 발명은 3차원 그래핀 나노 구조체 코팅 장치에 관한 것으로, 안정적으로 균일한 고밀도, 대면적의 플라즈마를 생성할 수 있어서 전기적/기계적 물성이 현격히 향상된 3차원 형상의 그래핀 나노 구조체를 제조할 수 있고, 단일챔버에서 합성과 코팅이 가능하여 공정 단순화와 경제성을 크게 제고할 수 있는 3차원 그래핀 나노 구조체 코팅 장치 및 이를 이용한 코팅 방법, 그리고 이를 통해 제조한 3차원 그래핀 나노 구조체에 관한 것이다....

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	CHOI YONG SUP, SHIN JIN HA, PARK HYUN JAE, JANG SOO OUK, LEE KANG IL
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL COMPOUNDS THEREOF DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL INORGANIC CHEMISTRY METALLURGY NON-METALLIC ELEMENTS SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION
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