3 3-dimensional graphene nano-structure coating euipment
본 발명은 3차원 그래핀 나노 구조체 코팅 장치에 관한 것으로, 안정적으로 균일한 고밀도, 대면적의 플라즈마를 생성할 수 있어서 전기적/기계적 물성이 현격히 향상된 3차원 형상의 그래핀 나노 구조체를 제조할 수 있고, 단일챔버에서 합성과 코팅이 가능하여 공정 단순화와 경제성을 크게 제고할 수 있는 3차원 그래핀 나노 구조체 코팅 장치 및 이를 이용한 코팅 방법, 그리고 이를 통해 제조한 3차원 그래핀 나노 구조체에 관한 것이다....
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| creator | CHOI YONG SUP SHIN JIN HA PARK HYUN JAE JANG SOO OUK LEE KANG IL |
| description | 본 발명은 3차원 그래핀 나노 구조체 코팅 장치에 관한 것으로, 안정적으로 균일한 고밀도, 대면적의 플라즈마를 생성할 수 있어서 전기적/기계적 물성이 현격히 향상된 3차원 형상의 그래핀 나노 구조체를 제조할 수 있고, 단일챔버에서 합성과 코팅이 가능하여 공정 단순화와 경제성을 크게 제고할 수 있는 3차원 그래핀 나노 구조체 코팅 장치 및 이를 이용한 코팅 방법, 그리고 이를 통해 제조한 3차원 그래핀 나노 구조체에 관한 것이다. |
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