SYSTEM FOR CHUCKING A WAFER

본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 척킹 시스템은, 복수의 관통홀을 가진 스테이지가 구비된 웨이퍼 척; 및 웨이퍼를 진공 흡착하여 스테이지로 운반하는 운반부를 포함하고, 웨이퍼 척은, 스테이지의 내부 공간에 설치되고, 스테이지의 중심을 기준으로 반경이 서로 다른 복수의 레일 및 각각의 레일에 마련된 복수의 능선부를 가진 가이드부; 및 스테이지의 안착면에 수직인 제1 축방향으로, 각각의 관통홀과 각각의 레일에 연결되고, 가이드부의 작동시 스테이지의 외부로 돌출되어 웨이퍼를 지지하고, 스테이지의 내부로 삽입되면서 웨이퍼가 안착면에 안착...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	RYU HO YEOL, CHO CHEOL HOON, RYU HYUNG JIN
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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Beschreibung
Zusammenfassung:	본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 척킹 시스템은, 복수의 관통홀을 가진 스테이지가 구비된 웨이퍼 척; 및 웨이퍼를 진공 흡착하여 스테이지로 운반하는 운반부를 포함하고, 웨이퍼 척은, 스테이지의 내부 공간에 설치되고, 스테이지의 중심을 기준으로 반경이 서로 다른 복수의 레일 및 각각의 레일에 마련된 복수의 능선부를 가진 가이드부; 및 스테이지의 안착면에 수직인 제1 축방향으로, 각각의 관통홀과 각각의 레일에 연결되고, 가이드부의 작동시 스테이지의 외부로 돌출되어 웨이퍼를 지지하고, 스테이지의 내부로 삽입되면서 웨이퍼가 안착면에 안착되도록 하는 복수의 리프트 핀을 포함하는 것이 바람직하다.