SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND ARTICLE MANUFACTURING METHOD

[과제] 기판 위에 배치된 용액의 건조 속도의 불균일을 저감시킨다. [해결 수단] 기판처리장치는, 기밀용기와, 상기 기밀용기의 내부를 감압하는 감압 기구와, 상기 기밀용기의 내부에 배치되어, 기판을 보유가능한 기판보유부와, 상기 기밀용기의 내부에 있어서 상기 기판보유부에 보유되는 상기 기판의 측면에 대향하는 위치에 배치된 벽 부재를, 구비한다. 상기 벽 부재는, 상기 기판의 측면에 대향하는 측의 벽면을 가진다. 상기 벽 부재는, 상기 벽면의 적어도 일부에, 제1발액부재를 가진다. The invention provides a subs...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	WAKABAYASHI SATOSHI, MURAKAMI YASUO, HAMAGUCHI KOHEI, KISHIMOTO KATSUSHI, TERAMOTO YOJI, FUTAKI HAJIME
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS BLASTING DRYING DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY HEATING LIGHTING MECHANICAL ENGINEERING SEMICONDUCTOR DEVICES WEAPONS
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