IMPRINT DEVICE IMPRINT METHOD AND ARTICLE MANUFACTURING METHOD

몰드를 사용해서 기판의 샷 영역 상에 패턴을 형성하는 임프린트 장치가 제공된다. 임프린트 장치는 몰드의 패턴 영역에 적어도 부분적으로 광을 조사하도록 구성되는 조사부 및 제어부를 포함한다. 제어부는, 패턴 영역의 요철 정보에 기초하여, 미리결정된 값을 초과하는 깊이를 갖는 1개 이상의 오목부를 포함하는 제1 영역과, 제1 영역에 인접하고, 미리결정된 값을 초과하는 깊이를 갖는 오목부를 포함하지 않는 제2 영역 사이의 경계를 포함하는 패턴 영역의 부분 영역을 결정하고, 조사부에 의한 부분 영역에의 광 조사량을 부분 영역 이외의 영역보...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	HAMAMOTO RYOSUKE
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR CINEMATOGRAPHY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS
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