THERMAL PROCESSING APPARATUS USING MICROWAVE AND OPERATION METHOD THEREOF

본 발명은 처리 공간으로 조사되는 마이크로파의 모드를 설비의 설계 변경 없이 변환시킬 수 있는 열처리 장치 및 그 동작 방법을 제공한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 마이크로파를 사용한 열처리 장치는, 기판의 열처리 공간을 형성하고 내벽에 전기 영동 필름이 부착된 챔버; 상기 열처리 공간의 하부에 위치하고 상기 기판을 지지하는 기판 지지 유닛; 상기 열처리 공간의 상부에 위치하고 상기 마이크로파에 의한 전자기장을 상기 열처리 공간에 형성하는 마이크로파 유닛; 및 공정 조건 및 상기 기판의 크기에 기반하여 상기 마이크로파의 이동 경로를 제어하도록 상기 전기 영동 필름을 제어하는 제어기를 포함한다. A thermal processing apparatus using microwaves and a method of operating the same are proposed. Provided is the thermal processing apparatus and an operation method thereof capable of converting a mode of the microwaves emitted into a processing space without changing equipment design. The thermal processing apparatus using microwaves includes a chamber configured to form the thermal processing space for a substrate and have an inner wall to which an electrophoresis film attached, a substrate support unit positioned on a lower part of the thermal processing space and supporting the substrate, a microwave unit positioned on an upper part of the thermal processing space and forming an electromagnetic field generated by the microwaves in the thermal processing space, and a controller for controlling the electrophoretic film so as to control movement paths of the microwaves on the basis of a process condition and a size of the substrate.