심자외선 리소그래피용 바닥 반사 방지 코팅과 이의 제조방법 및 용도

본 발명은 심자외선 리소그래피용 바닥 반사 방지 코팅과 이의 제조방법 및 용도를 개시한다. 본 발명에 개시된 중합체는 하기 방법에 의해 제조된다. (1) 용매 I을 예열하고, (2) 식(A)으로 표시되는 단량체, 식(B)으로 표시되는 단량체, 식(C)으로 표시되는 단량체, 식(L)으로 표시되는 가교제, 개시제 및 용매 II를 혼합하여 혼합 용액을 수득하고, (3) 혼합 용액을 예열된 용매에 가하여 중합 반응을 수행하며, 여기서, 단계(1)과 단계(2)는 선후 순서가 없다. 상기 심자외선 리소그래피용 바닥 반사 방지 코팅은 반사율을...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	FANG SHUNONG, GENG ZHIYUE, WANG SU
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	ADHESIVES APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS CHEMISTRY CINEMATOGRAPHY COATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES ORLACQUERS COMPOSITIONS BASED THEREON CORRECTING FLUIDS DYES ELECTROGRAPHY FILLING PASTES HOLOGRAPHY INKS MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVINGCARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS MATERIALS THEREFOR METALLURGY MISCELLANEOUS APPLICATIONS OF MATERIALS MISCELLANEOUS COMPOSITIONS NATURAL RESINS ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS ORIGINALS THEREFOR PAINTS PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS POLISHES THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP USE OF MATERIALS THEREFOR WOODSTAINS
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