APPARATUS FOR PREHEATING A SUBSTRATE
기판 예열 장치는 예열 챔버, 냉각판, 히터, 분리판, 급기부 및 배기부를 포함할 수 있다. 상기 예열 챔버는 기판을 수용할 수 있다. 상기 냉각판은 상기 예열 챔버의 상부면에 배치될 수 있다. 상기 히터는 상기 냉각판과 상기 기판 사이에 배치되어 상기 기판을 예열할 수 있다. 상기 분리판은 상기 냉각판과 상기 기판 사이에 배치되어 상기 예열 챔버와의 사이에 제 1 공간 및 상기 냉각판과의 사이에 제 2 공간을 각각 형성할 수 있다. 상기 급기부는 상기 제 1 공간과 상기 제 2 공간으로 벤트 가스를 개별적으로 공급할 수 있다. 상...
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| Hauptverfasser: | , , , |
|---|---|
| Format: | Patent |
| Sprache: | eng ; kor |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Volltext bestellen |
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