플라즈마 처리 시스템의 전류비 선형성 향상을 위한 탈자기 코일

본 발명은, 출력 신호를 생성하도록 구성된 RF 전력 소스를 포함하는 RF 전력 생성기에 관한 것이다. 전력 분배기는 상기 출력 신호를 수신하고 복수의 분할 신호들을 생성하도록 구성된다. 탈자기 회로는 상기 복수의 분할 신호들을 수신하도록 구성된다. 상기 탈자기 회로는 상기 복수의 분할 신호들에 대응하는 복수의 인덕턴스들을 포함하도록 구성된다. 상기 복수의 인덕턴스들은, 복수의 인덕턴스들과 직렬인 ICP 챔버의 상호 임피던스의 영향을 감소시키도록 구성되어, 상기 복수의 분할 신호들의 쌍 사이의 비율이 상기 복수의 분할 신호들 쌍 중...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	LEE HOHYOUNG, JANG JEONGSEOK, JUNG JAECHUL, NGUYEN NGOC HUNG, LE DINH VUONG
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRICITY
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!