플라즈마 처리 시스템의 전류비 선형성 향상을 위한 탈자기 코일

본 발명은, 출력 신호를 생성하도록 구성된 RF 전력 소스를 포함하는 RF 전력 생성기에 관한 것이다. 전력 분배기는 상기 출력 신호를 수신하고 복수의 분할 신호들을 생성하도록 구성된다. 탈자기 회로는 상기 복수의 분할 신호들을 수신하도록 구성된다. 상기 탈자기 회로는 상기 복수의 분할 신호들에 대응하는 복수의 인덕턴스들을 포함하도록 구성된다. 상기 복수의 인덕턴스들은, 복수의 인덕턴스들과 직렬인 ICP 챔버의 상호 임피던스의 영향을 감소시키도록 구성되어, 상기 복수의 분할 신호들의 쌍 사이의 비율이 상기 복수의 분할 신호들 쌍 중 하나가 변함에 따라 실질적으로 선형적으로 변한다. A RF power generator has a RF power source configured to generate an output signal. A power splitter is configured to receive the output signal and generate a plurality of split signals. A demagnetizing circuit is configured to receive the plurality of split signals. The demagnetizing circuit is configured to include a plurality of inductances corresponding to the plurality of split signals. The plurality of inductances is configured to reduce the effects of mutual impedance of an ICP chamber in series with the plurality of inductances so that a ratio between a pair of the plurality of split signals varies substantially linearly as one of the pair of the plurality of split signals is varied.