계측 데이터 변환 방법

훈련된 기계 학습(ML) 모델을 통해 계측 데이터를 변환하는 계측 시스템 및 방법이 설명된다. 상기 방법은 제1 SEM(scanning electron metrology) 시스템에 의해 획득된 제1 SEM 데이터 세트(예를 들어, 이미지, 윤곽 등) 및 제2 SEM 시스템에 의해 획득된 제2 SEM 데이터 세트에 액세스하는 단계(상기 제1 SEM 데이터 세트 및 상기 제2 SEM 데이터 세트는 패터닝된 기판과 연관됨)를 포함한다. 제1 SEM 데이터 세트 및 제2 SEM 데이터 세트를 훈련 데이터로 사용하여, 기계 학습(ML) 모델...

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