POLISHING APPARATUS

연마 장치는 제1 방향으로 연장하는 회전축을 포함하는 생크(shank), 생크의 측면을 커버하고, 제1 경도를 가지는 제1 쿠션부, 제1 쿠션부와 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 인접하며, 제1 쿠션부의 측면을 커버하는 제1 필름부, 생크의 하부에 배치되고, 제1 경도와 다른 제2 경도를 가지며, 원기둥 형상을 가지는 제1 부분 및 제1 부분 하부에 배치되고, 제1 부분과 반대되는 방향으로 돌출된 원뿔 형상을 가지는 제2 부분을 구비하는 제2 쿠션부 및 제2 부분을 커버하는 제2 필름부를 포함한다. A polishing apparatus includes a shank including a rotation shaft extending in a first direction, a first cushion unit covering a side surface of the shank and having a first hardness, a first film unit adjacent to the first cushion unit in a second direction crossing the first direction and covering a side surface of the first cushion unit, a second cushion unit disposed below the shank, having a second hardness different from the first hardness, and including a first part and a second part. The first part has a cylindrical shape and the second part is disposed below the first part and has a conical shape protruding in a direction opposite to the first part, and a second film unit covering the second part.