PROBE CARD PROBE PIN FOR PROBE CARD GUIDE PLATE FOR PROBE CARD AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

본 발명은 검사 대상물의 불량을 검사하는 프로브 카드와, 검사 대상물에 접촉하는 프로브 카드용 프로브 핀과, 프로브 핀이 삽입되어 프로브 핀을 가이드하는 프로브 카드용 가이드 플레이트와, 이들의 제조 방법에 관한 것으로서, 특히, 프로브 핀이 상부 가이드홀로부터 하부로 이탈되는 것을 방지하고, 검사 대상물을 프로브 핀에 접촉시 프로브 핀들끼리 접촉되는 것을 방지하거나, 프로브 핀들끼리 접촉되어 파손 또는 검사 오류가 발생하는 것을 방지할 수 있고, 프로브 핀의 일측이 가이드홀의 내측면에 접촉되어 마찰에 의해 파손되는 것을 방지할 수 있으며, 프로브 핀과 검사 대상물이 접촉할 때, 프로브 핀의 휘어짐을 제어할 수 있고, 상, 하부 가이드 플레이트에 프로브 핀을 쉽게 삽입할 수 있고, 프로브 핀을 쉽게 제조할 수 있는 프로브 카드, 프로브 카드용 프로브 핀, 프로브 카드용 가이드 플레이트 및 이들의 제조 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a probe card for inspecting defects of an inspection target, a probe pin for a probe card configured to contact the inspection target, a guide plate for a probe card configured to guide a probe pin inserted therein, and a method for manufacturing same. More particularly, the present invention relates to a probe card, a probe pin for a probe card, a guide plate for a probe card, and a method for manufacturing same, wherein a probe pin can be prevented from detaching downwards from an upper guide hole, probe pins can be prevented from contacting each other when an inspection target contacts the probe pins, or probe pins can be prevented from contacting each other and causing fractures or inspection errors, one side of a probe pin can be prevented from being fractured by contact and friction with the inner surface of a guide hole, when a probe pin and an inspection target contact each other, bending of the probe pin can be controlled, probe pins can be easily inserted into upper and lower guide plates, and probe pins can be easily manufactured.