TEGTest Element Group TEG TEG CIRCUIT SEMICONDUCTOR DEVICE AND TEST METHOD OF THE TEG CIRCUIT

TEG(Test Elements Group) 회로는, 테스트 트랜지스터, 테스트 전압이 인가되도록 구성된 제1 패드, 상기 제1 패드에 연결되어 있는 제1 입력단, 상기 테스트 트랜지스터의 제1 단에 연결되어 있는 제2 입력단, 및 상기 제2 입력단에 전기적으로 연결되어 있는 출력단을 포함하는 증폭기, 상기 증폭기의 출력단에 연결되어 있는 일단 및 상기 테스트 트랜지스터의 제1 단에 연결되어 있는 타단을 포함하는 가변 저항, 및 상기 테스트 트랜지스터의 게이트에 게이트 전압을 공급하는 게이트 구동회로를 포함할 수 있다. An emb...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	CHOO GYOSOO, LEE CHEONGWON, CHOI JINWOO, LEE SEUNGHOON, PARK YOUNGWOO
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	MEASURING MEASURING ELECTRIC VARIABLES MEASURING MAGNETIC VARIABLES PHYSICS TESTING
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