정전 척 어셈블리

진공 챔버 내에서의 사용에 있어서의 내용 기간(耐用期間)을 배수적으로 길게 하는 것이 가능한 정전 척 어셈블리가 제공된다. 이 정전 척 어셈블리는, 정전 척으로서의 원반형의 전극 내장 세라믹 플레이트와, 전극 내장 세라믹 플레이트의 바닥면을 지지하고, 환형 또는 원호형의 내부 공간을 갖는, 원반형의 냉각 플레이트와, 내부 공간에 냉각 플레이트의 중심축에 대해 회전 가능하게 수용되는, 환형 또는 원호형의 내부 고정 부재와, 내부 고정 부재에, 서로 이격되어 형성되는 n의 배수 개(단 n은 2 이상의 정수)의 암나사부와, 냉각 플레이트의 바닥부에, 1세트의 n개의 암나사부가 노출되도록 형성되는, 챔버 고정용의 볼트가 삽입되기 위한 n개의 스루 홀을 구비하고, 내부 고정 부재가 미리 정해진 각도 또는 그 배수의 각도로 회전된 경우에 다른 세트의 n개의 암나사부가 스루 홀에 노출되도록, 암나사부의 각각이 배치되어 있다. There is provided an electrostatic chuck assembly including: an electrode-embedded ceramic plate; a cooling plate that supports a bottom surface of the ceramic plate and has an internal space of an annular or arcuate shape; an internal fixation member of an annular or arcuate shape accommodated in the internal space so as to be rotatable about a central axis of the cooling plate; female threads in a multiple of n, which is an integer of 2 or more, spaced apart from each other in the internal fixation member; and n insertion holes for insertion of bolts for being fixed to a chamber, the insertion holes each being provided at the bottom of the cooling plate such that one set of n female threads is exposed. Each of the female threads is disposed such that another set of n female threads is exposed in the insertion holes when rotated.