GATE VALVE SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD

(과제) 진공처리실 및 진공예비실의 기밀성 및 청정도를 향상시킬 수 있는 게이트 밸브, 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법을 제공하는 것. (해결 수단) 게이트 밸브(30)는, 진공처리실(10) 및 진공예비실(20)의 서로 대향 배치된 기판 반출입구(24a)의 전체 둘레를 둘러싸는 환상의 시일 부재(25a, 25b)에 대하여 진공처리실(10) 및 진공예비실(20)의 각각에 대향하는 측의 면을 맞닿게 하여 진공처리실(10)과 진공예비실(20)의 사이를 개폐가 자유롭게 접속하고, 진공처리실(10) 또는 진공예비실(20)의 적어도 일방의...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	OHIZUMI YUKIO, SUZUKI KAITO, HOSHINO YOSHIFUMI
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	ACTUATING-FLOATS BASIC ELECTRIC ELEMENTS BLASTING CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL COCKS DEVICES FOR VENTING OR AERATING DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVEFUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS HEATING INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL LIGHTING MECHANICAL ENGINEERING METALLURGY SEMICONDUCTOR DEVICES SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION TAPS THERMAL INSULATION IN GENERAL VALVES WEAPONS
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