JIG FOR TRANSPORTING A WAFER CASSETTE

웨이퍼 카세트 운반용 지그는 지그 몸체, 클램핑 기구 및 구동 기구를 포함할 수 있다. 상기 지그 몸체는 런 박스 내에 수용된 웨이퍼 카세트의 전면에 배치될 수 있다. 상기 클램핑 기구는 상기 지그 몸체 내에 수평 방향을 따라 이동 가능하게 수용되어 상기 웨이퍼 카세트를 클램핑할 수 있다. 상기 구동 기구는 상기 클램핑 기구를 상기 수평 방향을 따라 오므려지거나 벌어지도록 구동시킬 수 있다. 따라서, 구동 기구에 의해 구동되는 클램핑 기구가 웨이퍼 카세트를 견고하게 클램핑하게 되므로, 작업자의 피로도를 크게 줄일 수 있다....

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	KIM KWANG JUN, HWANG SOON WOOK, PARK HEE JAE, JO WON YEONG, HAN SANG KYEONG, LEE HUI GWAN
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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