DEPOSITION APPARATUS

본 발명의 증착 장치는, 마스크 상에 배치되는 베이스 기판에 증착 물질을 증착하는 증착 장치에서, 개구를 포함하며 개구를 둘러싸는 마스크 프레임 및 마스크 프레임 상에 배치되는 마스크를 포함하는 마스크 어셈블리, 베이스 기판 상에 배치되는 정전척, 및 정전척 상에 배치되는 플레이트를 포함한다. 정전척은 복수의 자성체들을 포함하며, 복수의 자성체들 중 일부 자성체의 자기적 성질은 복수의 자성체들 중 나머지 자성체의 자기적 성질과 상이하다. A deposition apparatus for depositing a deposition ma...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	MOON JAE SUK, KANG MIN GOO, RYU SUK HA, KO JUN HYEUK, KIM EUI GYU, SONG MIN CHUL, CHO YOUNG SUN
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL METALLURGY SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION
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