튜닝 가능 DUV 레이저 어셈블리

튜닝 가능 레이저 어셈블리는, 기본 광을 팬아웃 주기적으로 폴링된 비선형 결정의 상이한 영역을 통해 지향시켜 대응하는 상이한 하향 변환된 신호를 생성하는 것, 및 상이한 비선형 합산 결정을 사용하여 상이한 하향 변환된 신호를 기본 파장의 5차 고조파와 혼합하는 것에 의해, 1 ㎛와 1.1 ㎛ 사이의 기본 파장을 사용하여 184 nm 내지 200 nm의 범위 내의 두 개 이상의 출력 파장에서 레이저 출력 광을 교대로 생성한다. 각각의 비선형 합산 결정은 효율적인 투과 및 관련된 하향 변환된 신호와의 5차 고조파의 합산을 촉진하기 위해 광 전파 방향을 기준으로 일정한 각도에서 정렬되는 결정 축을 갖는다. 유저 선택 출력 파장에 응답하여, 주파수 제어 시스템은 대응하는 하향 변환된 신호 주파수를 생성하도록 팬아웃 주기적으로 폴링된 비선형 결정을 배치하고 5차 고조파 및 대응하는 하향 변환된 신호를 수신하도록 관련된 비선형 합산 결정을 배치한다. A tunable laser assembly uses a fundamental wavelength between 1 μm and 1.1 μm to alternately generate laser output light at two or more output wavelengths within the range of 184 nm to 200 nm by directing the fundamental light through different regions of a fan-out periodically poled nonlinear crystal to generate corresponding different down-converted signals, and using different nonlinear summing crystals to mix the different down-converted signals with a fifth harmonic of the fundamental wavelength. Each nonlinear summing crystal has a crystal axis aligned at an angle relative to the light propagation direction to facilitate the efficient transmission and summing of the fifth harmonic with an associated down-converted signal. In response to a user-selected output wavelength, a frequency control system positions the fan-out periodically poled nonlinear crystal to generate a corresponding down-converted signal frequency and positions an associated nonlinear summing crystal to receive the fifth harmonic and the corresponding down-converted signal.