CONVEYANCE APPARATUS AND METHOD FOR STORING POSITIONAL INFORMATION

(과제) 반송 장치 및 위치 정보의 기억 방법에 있어서, 용이하게 반송 위치를 기억부에 기억시킬 수 있다. (해결 수단) 반송 장치는, 피가공물(웨이퍼(90))을 유지하는 유지부(6)와, 이 유지부(6)를 이동시키는 이동 기구(2)와, 이 이동 기구(2)를 제어하는 제어부(3)를 구비한다. 이동 기구(2)는, 서보 모터(211)에 전력을 공급함과 함께 인코더(212)의 수치를 판독하는 컨트롤러(213)를 구비한다. 인코더(212)와 컨트롤러(213)가 접속한 상태에서 서보 모터(211)와 컨트롤러(213)의 접속을 차단시킨 후, 제어부(3)는, 작업자에 의해 유지부(6)를 수평 방향으로 제1 장소(181)의 바로 위 또는 바로 아래의 제1 위치로 이동시켜 인코더(212)의 값을 기억하는 제1 기억부(31)와, 작업자에 의해 유지부(6)를 수평 방향으로 제2 장소(182)의 바로 위 또는 바로 아래의 제2 위치로 이동시켜 인코더(212)의 값을 기억하는 제2 기억부(32)를 구비한다. The invention provides a conveying device and a position information storage method, which can easily store a conveying position in a storage part. The conveying device is provided with: a holding part (6) for holding a workpiece (wafer (90)); a moving mechanism (2) that moves the holding part; and a control unit (3) that controls the movement mechanism. The movement mechanism has a controller (213) that supplies power to the servomotor (211) and reads the numerical value of the encoder (212). The control unit is provided with: a first storage unit (31) for storing the value of the encoder by moving the holding unit in the horizontal direction to a first position directly above or directly below a first location (181) by an operator, and a second storage unit (32) for storing the value of the encoder by moving the holding unit in the horizontal direction to a second position directly above or directly below the first location (181) by the operator; and a second storage unit (32) that stores the value of the encoder when the operator moves the holding unit in the horizontal direction to a second position directly above or directly below a second location (182).