LAZER IRRADIATION APPARATUS

레이저 조사 장치는 피조사체를 처킹하는 스테이지, 스테이지의 적어도 일부를 중력방향으로 관통하도록 설치되는 회전축, 일단이 회전축에 고정되는 외팔보, 외팔보가 지지하고, 피조사체에 레이저를 조사하는 레이저 어셈블리, 스테이지의 진동인 제1 진동을 감지하는 제1 진동감지센서, 레이저 어셈블리의 진동인 제2 진동을 감지하는 제2 진동감지센서, 제1 진동감지센서 및 제2 진동감지센서와 전기적으로 연결되고, 제1 진동 및 제2 진동 사이의 상대진동을 구하는 제어부 및 제어부와 전기적으로 연결되고, 외팔보 상에 설치되며, 상대진동과 반대위상...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	LEE SANG GUN, KIM TAE HEE, SUNG JIN YEONG, RYU SANG HYEON, OH SEUNG UN, CHOI KI HOON, LEE JANG JIN
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR CINEMATOGRAPHY CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MACHINE TOOLS MATERIALS THEREFOR MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC ORINFRASONIC WAVES MEASURING METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ORIGINALS THEREFOR PERFORMING OPERATIONS PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS SOLDERING OR UNSOLDERING TESTING TRANSPORTING WELDING WORKING BY LASER BEAM
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Beschreibung
Zusammenfassung:	레이저 조사 장치는 피조사체를 처킹하는 스테이지, 스테이지의 적어도 일부를 중력방향으로 관통하도록 설치되는 회전축, 일단이 회전축에 고정되는 외팔보, 외팔보가 지지하고, 피조사체에 레이저를 조사하는 레이저 어셈블리, 스테이지의 진동인 제1 진동을 감지하는 제1 진동감지센서, 레이저 어셈블리의 진동인 제2 진동을 감지하는 제2 진동감지센서, 제1 진동감지센서 및 제2 진동감지센서와 전기적으로 연결되고, 제1 진동 및 제2 진동 사이의 상대진동을 구하는 제어부 및 제어부와 전기적으로 연결되고, 외팔보 상에 설치되며, 상대진동과 반대위상을 갖는 진동을 발생시키는 진동발생기를 포함한다.