TRANSPORTION SYSTEM FOR A CASSETTE AND METHOD OF AUTO TEACHING A POSITION OF THE CASSETE

카세트 반송 시스템은 글래스 기판을 수납하는 카세트, 상기 카세트를 수납하고, 상기 카세트의 바텀부가 놓여지는 하부에 배치되어 상기 카세트의 위치를 센싱하는 복수의 변위 센서들을 포함하는 포트, 및 센싱된 상기 카세트의 복수의 센싱값들을 이용하여 상기 카세트의 틀어진 량을 산출하고 상기 틀어진 량을 허용 오차값과 비교하여 정상 반송 상태를 판단하는 시스템 제어부를 포함한다. 이에 따르면, 포트에 놓여진 카세트를 클램핑 장치에 의한 클램핑하는 동작없이 카세트의 위치를 자동으로 티칭할 수 있다. 이에 의해 카세트를 클램핑하는 동작시 발생되는 파티클을 방지할 수 있고, 클램핑 장치와 카세트가 접촉할 때 발생하는 정전기 등의 영향으로 글래스 기판에 불량이 야기되는 것을 방지할 수 있다. 특히, OLED 제조 공정상 제품 품질 불량에 영향을 주는 파티클 및 정전기를 방지함으로써 OLED 제품의 품질 불량을 제거할 수 있다. A transportation system of a cassette comprises a port and a system controller. The port accommodates a cassette carrying a glass substrate, and the port includes displacement sensors for sensing a position of a cassette. The system controller calculates a distortion amount of the cassette using sensed values of the cassette and determines if the cassette is in a normal settlement status by comparing the distortion amount with a tolerance value. Therefore, the position of the cassette can be automatically taught without clamping operation of a clamping device clamping the cassette disposed in the port, thereby preventing defects of the glass substrate by removing various defect-causing factors such as particles and static electricity that may occur during a conventional clamping operation. In particular, quality defects of OLED can be eliminated by preventing particles and static electricity that affect product quality defects in the OLED manufacturing process.