CCSS How to build and design CCSS equipment

A method of manufacturing and designing a CCSS device is disclosed. The present invention comprises the steps of: heating a heating element to at least 15℃ below a softening temperature of a PFA material; placing a distal end portion of a tube in a hole formed in the heating element until the distal...

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1. Verfasser: LEE, JEONG HYUK
Format: Patent
Sprache:eng ; kor
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Beschreibung
Zusammenfassung:A method of manufacturing and designing a CCSS device is disclosed. The present invention comprises the steps of: heating a heating element to at least 15℃ below a softening temperature of a PFA material; placing a distal end portion of a tube in a hole formed in the heating element until the distal end portion of the tube is flexible; placing a sleeve on a cylindrical post of a mandrel; grasping the tube by hand; pulling, while grasping the tube by hand, the distal end portion of the tube out of the hole of the heating element; pushing, within 10 seconds after the removing step, the distal end portion of the heated tube over the cylindrical post and the sleeve; immediately removing, within 10 seconds after the pushing step, the attached tube and the sleeve from the cylindrical post of the mandrel; and allowing the distal end portion of the tube to be maintained in air with a temperature between 15℃ and 38℃ until the temperature of the distal end portion of the tube is below 38℃. The purpose of the present invention is to ensure that the piping that supplies chemicals in semiconductor manufacturing facilities is exposed to external shock or is damaged around the connector. CCSS 장비 제작 및 설계 방법이 개시된다. 본 발명은 가열체를 PFA 재료의 연화 온도의 적어도 15℃ 아래로 가열하는 단계; 상기 튜브의 원위 단부 부분이 유연한 상태일 때까지 상기 가열체에서 형성되는 홀(hole)에 상기 튜브의 원위 단부 부분을 배치하는 단계; 맨드릴(mandrel)의 원통형 포스트(cylindrical post) 상에 슬리브를 배치하는 단계; 손으로 상기 튜브를 파지하는 단계; 상기 손으로 상기 튜브를 파지하는 동안, 상기 튜브의 원위 단부 부분을 상기 가열체의 홀 밖으로 당기는 단계; 상기 제거하는 단계 후 10초 이내에, 상기 가열된 튜브의 원위 단부 부분을 상기 원통형 포스트 및 상기 슬리브에 걸쳐 푸시하는(push) 단계; 상기 푸시하는 단계 후 10초 이내에, 상기 맨드릴의 원통형 포스트로부터 상기 부착된 튜브 및 상기 슬리브를 즉시 제거하는 단계; 상기 튜브의 원위 단부 부분이 상기 튜브의 원위 단부 부분의 온도가 38℃ 미만일 때까지, 15℃ 내지 38℃ 사이의 온도를 가지는 공기에 유지되는 것을 허용하는 단계를 포함한다.