Apparatus to supply refrigerant for group probers

A refrigerant supply apparatus for group probers, which can improve the cooling efficiency of a refrigerant by including a distribution flow path, is provided. According to one embodiment of the present invention, the refrigerant supply apparatus for group probers may comprise: a cooling chiller uni...

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Hauptverfasser: PARK NAM WOO, SANGYEONG HAN, PARK KI TACK
Format: Patent
Sprache:eng ; kor
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Beschreibung
Zusammenfassung:A refrigerant supply apparatus for group probers, which can improve the cooling efficiency of a refrigerant by including a distribution flow path, is provided. According to one embodiment of the present invention, the refrigerant supply apparatus for group probers may comprise: a cooling chiller unit which supplies the refrigerant to a first prober and a second prober and recovers the refrigerant that has passed through the first prober and the second prober; a first refrigerant supply branch flow path and a first prober supply flow path sequentially connecting the chiller unit and the first prober; a second refrigerant supply branch flow path and a second prober supply flow path sequentially connecting the chiller unit and the second prober; a first refrigerant recovery branch flow path and a first prober recovery flow path sequentially connecting the chiller unit and the first prober; and a second refrigerant recovery branch flow path and a second prober recovery flow path sequentially connecting the chiller unit and the second prober. 그룹 프로버용 냉매 공급 장치가 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 그룹 프로버용 냉매 공급 장치는 상기 냉매를 상기 제1 프로버 및 상기 제2 프로버에 공급하고 상기 제1 프로버 및 상기 제2 프로버를 경유한 냉매를 회수하는 냉각하는 칠러부; 상기 칠러부와 상기 제1 프로버를 순차적으로 연결하는 제1 냉매 공급 분지유로 및 제1 프로버 공급 유로; 상기 칠러부와 상기 제2 프로버를 순차적으로 연결하는 제2 냉매 공급 분지유로 및 제2 프로버 공급 유로; 상기 칠러부와 상기 제1 프로버를 순차적으로 연결하는 제1 냉매 회수 분지유로 및 제1 프로버 회수 유로; 및 상기 칠러부와 상기 제2 프로버를 순차적으로 연결하는 제2 냉매 회수 분지유로 및 제2 프로버 회수 유로; 를 포함할 수 있다.