고속 가스 교환 장치, 시스템 및 방법

제1 상류 단부 및 제1 하류 단부를 갖는 제1 저장소, 및 제2 상류 단부 및 제2 하류 단부를 갖는 제2 저장소를 갖는 가스 분배 장치가 제공된다. 저장소 스위치 밸브가 제1 저장소의 제1 하류 단부 및 제2 저장소의 제2 하류 단부와 유체 연통한다. 저장소 스위치 밸브는 선택적으로, 제1 상태에 있을 때에는 제1 저장소를 저장소 스위치 밸브의 출구에 결합하고 그리고 제2 상태에 있을 때에는 제2 저장소를 저장소 스위치 밸브의 출구에 결합하도록 동작가능하다. 저장소 스위치 밸브의 출구에 병렬로 결합된 입구들을 갖는 복수의 비례 유동 제어 밸브들이 제공된다. 복수의 비례 유동 제어 밸브들은 프로세싱 챔버에 가스를 제공하도록 구성된 출구들을 갖는다. A gas distribution apparatus is provided having a first reservoir with a first upstream end and a first downstream end and a second reservoir with a second upstream end and a second downstream end. A reservoir switch valve is in fluid communication with the first downstream end of the first reservoir and the second downstream end of the second reservoir. The reservoir switch valve operable to selectively couple the first reservoir to an outlet of the reservoir switch valve when in a first state, and couple the second reservoir to the outlet of the reservoir switch valve when in a second state. A plurality of proportional flow control valves are provided having inlets coupled in parallel to the outlet of the reservoir switch valve The plurality of proportional flow control valves have outlets configured to provide gas to a processing chamber.