광학 시스템의 광학적 특성 측정 장치 및 방법

광학 시스템(12; 112; 212)의 광학적 특성을 측정하기 위한 장치는, 평면에 배열되고 서로 분리된 복수의 구조물(18), 2차원 이미지 센서(32) 및 초점 거리 f를 갖는 집광 광학부(30)를 갖는 촬상 대상 물체(16)를 포함하며, 이미지 센서(32)는 0.9??f ≤ a ≤ 1.1??f로 집광 광학부(30)로부터의 거리 a를 가진다. 광학 시스템(12; 112; 212)을 위한 홀더(13)는 광학 시스템이 물체(16)와 집광 광학계(30) 사이의 빔 경로에 위치하도록 배치된다. 본 발명에 따르면, 이미지 센서(30) 및 집광 광학계(30)는 광학 시스템(12; 112; 212) 및 집광 광학계(30)에 의해 모든 구조물(18)이 동시에 이미지 센서(32)에 촬상될 수 있도록 설계된다. An apparatus for measuring the MTF or another optical property of an optical system includes an object to be imaged, which has a plurality of structures arranged in a plane and separated from one another, a two-dimensional image sensor, and collecting optics having a focal length f. The image sensor has a distance a from the collecting optics with 0.94·f≤a≤1.1·f. A holder for the optical system is arranged such that the optical system is located in a beam path between the object and the collecting optics. The image sensor and the collecting optics are configured such that all structures can be imaged by the optical system and the collecting optics onto the image sensor simultaneously.