재료 표면을 스캐닝하기 위한 성형-채널 스캐닝 노즐
하나 이상의 유체 스트림을 하나 이상의 성형 채널을 갖는 노즐로부터 하나 이상의 재료 표면으로 도입하고 관심 화학 종을 스캐닝하기 위해서 유체 스트림을 제거하기 위한 시스템 및 방법이 설명된다. 노즐 실시형태는, 비제한적으로, 노즐을 재료 표면에 대해서 배치하기 위한 배치 가능 노즐 아암 지지부에 커플링되도록 구성된 노즐 본체로서, 유체를 노즐 내로 수용하기 위한 적어도 하나의 유체 포트를 형성하는, 노즐 본체; 및 노즐 본체에 커플링된 노즐 후드로서, 노즐 후드는 적어도 하나의 유체 포트로부터 연장되는 제1 유체 채널 및 제2 유...
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Format: | Patent |
Sprache: | kor |
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