방향성 자기조립

소자를 형성하기 위한 방법은, 제조 설비 내의 혼합기에서, 제1 혼합물을 형성하기 위해, 제1 블록 코폴리머를 포함하는 제1 액체를 제2 블록 코폴리머를 포함하는 제2 액체와 혼합하는 단계를 포함한다. 제1 블록 코폴리머는 제1 호모폴리머 및 제2 호모폴리머를 포함하며, 제1 호모폴리머는 제1 액체 내에서 제1 몰 분율을 갖는다. 제2 블록 코폴리머는 제1 호모폴리머 및 제2 호모폴리머를 포함하며, 제1 호모폴리머는 제2 액체 내에서 제2 몰 분율을 갖고, 제1 몰 분율은 제2 몰 분율과 상이하다. 방법은, 제조 설비 내의 공정 챔버의 기판 홀더 위에 기판을 배치하는 단계; 및 공정 챔버 내에서 제1 혼합물로 기판을 코팅하는 단계를 포함한다. A method for forming a device includes blending, in a mixer within a fabrication facility, a first liquid including a first block copolymer with a second liquid including a second block copolymer to form a first mixture. The first block copolymer includes a first homopolymer and a second homopolymer, where the first homopolymer has a first mole fraction in the first liquid. The second block copolymer includes the first homopolymer and the second homopolymer, the first homopolymer having a second mole fraction in the second liquid, the first mole fraction being different from the second mole fraction. The method includes placing a substrate over a substrate holder of a processing chamber within the fabrication facility; and coating the substrate with the first mixture within the processing chamber.