전력 공급 장치, 시스템, 노광 장치 및 물품 제조 방법

전력 공급 장치는, 복수의 유닛에 대하여 전력을 공급하기 위한 복수의 전력 공급 단자를 갖는다. 각 유닛은, 상기 복수의 전력 공급 단자 중 어느 것으로부터 전력의 공급을 받는 수전부와, 상기 수전부에 대하여 전력의 공급을 받지 않고, 당해 유닛의 소비 전력에 관한 정보를 포함하는 제어 정보를 상기 전력 공급 장치에 제공하는 디바이스를 포함한다. 상기 전력 공급 장치는, 복수의 전원과, 상기 복수의 전력 공급 단자를 통해서 상기 복수의 유닛에 전력이 공급되지 않은 상태에 있어서 상기 복수의 유닛의 각각의 상기 디바이스로부터 상기 제어 정보를 취득하고, 상기 제어 정보에 기초하여 상기 복수의 유닛 중 적어도 하나에 대하여 상기 복수의 전력 공급 단자 중 어느 것을 통해서 전력을 공급하기 위한 전원을 상기 복수의 전원으로부터 선택하는 제어부를 구비한다. A power supply apparatus according to the present invention has a plurality of power supply terminals for supplying power to a plurality of units. The units each include: a power reception unit that receives power supply from any of the plurality of power supply terminals; a device that, without receiving power supply to the power reception unit, provides control information, including information related to the electricity consumption of the respective unit, to the power supply apparatus. The power supply apparatus comprises: a plurality of power sources; and a control unit that, in a state in which power is not supplied to the plurality of units via the plurality of power supply terminals, acquires the control information from the respective devices of the plurality of units, and that, on the basis of the control information, selects, from the plurality of power sources, a power source for supplying power via any of the plurality of power supply terminals to at least one of the plurality of units.