Control unit and substrate treating system including the same

Provided are a control unit that can script scheduling logic and apply thereof, in real-time, according to a facility, and a substrate processing system comprising the same. The control unit comprises: an execution file preparation module that prepares an execution file that is commonly applied to multiple types of semiconductor manufacturing facilities in relation to work scheduling; a setting file preparation module that prepares a setting file based on situation information and condition information of each semiconductor manufacturing facility in relation to the work scheduling; and a scheduler generation module that generates a scheduler to prepare work scheduling based on the execution file and setting file, wherein the scheduler is edited using the setting file. 스케줄링 로직을 스크립트화하여 설비에 맞추어 실시간으로 적용할 수 있는 제어 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 시스템을 제공한다. 상기 제어 유닛은, 작업 스케줄링과 관련하여 복수 종류의 반도체 제조 설비에 공통적으로 적용되는 실행 파일을 작성하는 실행 파일 작성 모듈; 작업 스케줄링과 관련하여 각각의 반도체 제조 설비의 상황 정보 및 조건 정보를 기초로 설정 파일을 작성하는 설정 파일 작성 모듈; 및 실행 파일 및 설정 파일을 기초로 작업 스케줄링을 작성하기 위한 스케줄러를 생성하는 스케줄러 생성 모듈을 포함하며, 설정 파일을 이용하여 스케줄러를 편집한다.