4개의 접촉면과 3개의 비아를 구비한 센서 소자

본 발명은 예를 들어 람다 프로브용으로 4개의 접촉면과 3개의 비아를 갖는 센서 소자(10)에 관한 것이다. 기계적 응력과 관련하여 센서 소자의 부하 가능성을 높이기 위한 조치들이 제안된다. 상기 조치들은 특히 비아의 배열 및 센서 소자 내부의 절연층 설계와 관련된다. A ceramic planar sensor element having four contact surfaces and three vias, for example for a lambda sensor. Measures are provided for increasing th...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	ARNETH ULRICH, HEYER MARTIN, RENTROP TOBIAS, HANSELMANN ANNETTE, ECKARDT MARTIN, PASTUSZKA LUDE THOMAS, BIGGE ANDREAS, KRAUS THOMAS
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING PHYSICS TESTING
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