Buffer tray apparatus for prober

A buffer tray device of a prober that can provide a stacking space for a wafer transfer robot and an appropriate environment for a wafer at the same time is disclosed. The buffer tray device of a prober according to one embodiment of the present invention, as a buffer tray device of a prober that selectively receives a wafer while moving with a transfer robot to supply a wafer to an inspection chamber, may comprise: a case provided with a slit on one side for a transfer hand of the transfer robot to load and unload the wafer; a stack module composed of a plurality of layers so that the wafers can be pre-aligned and stacked inside the case, one by one for each layer; and a stack module driving unit that lifts and lowers the stack module within the case so that one of the wafers stored in the stack module can be selected and taken out through the slit. 웨이퍼 이송 로봇에게 스택킹 공간을 제공하는 동시에 웨이퍼에게 적정 환경을 제공할 수 있는 프로버의 버퍼 트레이 장치가 개시된다. 본 발명에 일 실시예에 따른 프로버의 버퍼 트레이 장치는 검사 챔버에 웨이퍼를 공급하기 위한 이송로봇과 함께 이동하면서 선택적으로 웨이퍼를 수용하는 프로버의 버퍼 트레이 장치로서, 일면에 상기 웨이퍼를 이송로봇의 이송 핸드가 반입 및 반출하기 위한 슬릿이 구비된 케이스; 상기 케이스 내부에 상기 웨이퍼가 한 장씩 각 층마다 프리 얼라인되어 적층될 수 있도록 복수개의 층으로 이루어진 스택 모듈; 및 상기 스택 모듈에 수납된 웨이퍼 중 하나를 선택하여 상기 슬릿을 통하여 반출할 수 있도록 상기 스택 모듈을 상기 케이스 내부에서 승강시키는 스택 모듈 구동부;를 포함할 수 있다.