기판 프로세스 장비를 위한 기판 트레이 이송 시스템

복수의 프로세싱 챔버들에 결합된 이송 챔버를 포함하는 기판 프로세싱 시스템을 위한 이송 로봇에 대한 방법 및 장치가 제공된다. 이송 챔버는 지지 스템에 결합된 베이스, 및 베이스에 고정된 트레이 카세트를 포함하는 이송 로봇을 포함하며, 트레이 카세트는, 제1 트레이를 홀딩하고 트레이 카세트로부터 복수의 프로세싱 챔버들 중 하나의 프로세싱 챔버 내의 서셉터로 이송하기 위한 제1 트레이 캐리어 및 제1 트레이 캐리어 상에 적층된 제2 트레이 캐리어를 포함하고, 제2 트레이 캐리어는 제2 트레이를 홀딩하기 위한 것이며, 제1 트레이 캐리어 및 제2 트레이 캐리어 각각은 복수의 마찰 감소 디바이스들을 포함한다. A method and apparatus for a transfer robot for a substrate processing system is provided that includes a transfer chamber coupled to a plurality of processing chambers. The transfer chamber comprises a transfer robot comprising a base coupled to a support stem, and a tray cassette fixed to the base, wherein the tray cassette comprises a first tray carrier for holding and transferring a first tray from the tray cassette to a susceptor in one of the plurality of processing chambers and a second tray carrier stacked on the first tray carrier, the second tray carrier for holding a second tray, wherein each of the first tray carrier and the second tray carrier includes a plurality of friction reducing devices.