반도체-제작 프로세스들을 위한 성능 예측기들

반도체 제작 장비 동작들의 성능을 예측하기 위한 방법들, 시스템들 및 컴퓨터 프로그램들이 제시된다. 일 방법은 ML 모델들을 획득하기 위한 동작을 포함하고, 모델 각각은 반도체 제작 툴의 동작에 대한 성능 메트릭 (metric) 을 예측하는 것과 관련된다. 또한, ML 모델 각각은 ML 모델에 대한 입력들을 규정하는 피처들을 활용한다. 방법은 반도체 제작 툴을 사용하여 제품을 제작하기 위한 프로세스 규정을 수신하기 위한 동작을 더 포함한다. 하나 이상의 ML 모델들은 반도체 제작 툴에서 사용된 프로세스 규정의 성능을 추정하기 위해...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	GOPINATH SANJAY, ROHAM SASSAN, BROGAN LEE J, SRIRAMAN SARAVANAPRIYAN, HASKELL BENJAMIN ALLEN, COHEN DAVID G, DANEK MICHAL, VELLANKI RAVI, SAWLANI KAPIL UMESH
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS CALCULATING COMPUTER SYSTEMS BASED ON SPECIFIC COMPUTATIONAL MODELS COMPUTING CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL CONTROLLING COUNTING ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS ORELEMENTS PHYSICS REGULATING SEMICONDUCTOR DEVICES
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