다중 유체 전달 시스템
제1 유체를 공급하기 위한 적어도 하나의 제1 공급 스테이션 및 상기 제1 유체와 상이한 제2 유체를 공급하기 위한 적어도 하나의 제2 공급 스테이션을 포함하는 유체 전달 시스템이 개시된다. 상기 유체 전달 시스템은 상기 제1 및 제2 유체를 가압하기 위한 가압 유닛을 더 포함하고, 상기 가압 유닛은 제1 및 제2 펌프 모듈을 포함하고, 각각의 펌프 모듈은 챔버 및 제1 및 제2 가변 체적 서브 챔버를 한정하기 위해 플런저가 제공된 피스톤을 포함한다. 상기 유체 전달 시스템은 제1 및 제2 입구 유체 회로, 제1 및 제2 출구 유체...
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Format: | Patent |
Sprache: | kor |
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