APPARATUS FOR CACULATING WIDTH OF GLASS SUBSTRATE AND CONTROL METHOD THEREOF
An apparatus for measuring the thickness of a glass substrate comprises: a frame having an opening for accommodating a glass substrate; a laser beam irradiator for irradiating a laser beam toward the opening at a predetermined incident angle; a polyhedral prism provided on the optical path of the la...
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Hauptverfasser: | , |
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; kor |
Schlagworte: | |
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Zusammenfassung: | An apparatus for measuring the thickness of a glass substrate comprises: a frame having an opening for accommodating a glass substrate; a laser beam irradiator for irradiating a laser beam toward the opening at a predetermined incident angle; a polyhedral prism provided on the optical path of the laser beam irradiated from the laser beam irradiator and passing through the opening, and including an incident surface on which the laser beam passing through the opening is incident, a plurality of reflection surfaces for consecutively reflecting the laser beam incident on the incident surface, and an emission surface from which the laser beam, which is consecutively reflected by the plurality of reflection surfaces, is emitted; a camera for acquiring a captured image of the laser beam emitted from the polyhedral prism; and a controller for measuring the thickness of the glass substrate accommodated in the opening based on the captured image obtained by the camera. At least one of the plurality of reflection surfaces of the polyhedral prism has a curved surface.
글래스기판의 두께를 측정하기 위한 장치는, 글래스기판을 수용하기 위한 개구를 가지는 프레임과; 개구를 향해 소정의 입사각으로 레이저빔을 조사하는 레이저빔 조사기와; 레이저빔 조사기로부터 조사되며 개구를 지나는 레이저빔의 광경로 상에 마련되며, 개구를 지나는 레이저빔이 입사되는 입사면과, 입사면을 통해 입사되는 레이저빔을 연쇄 반사시키는 복수의 반사면과, 복수의 반사면에 의해 연쇄 반사되는 레이저빔이 출사되는 출사면을 포함하는 다면체 프리즘과; 다면체 프리즘으로부터 출사되는 레이저빔의 촬상 이미지를 획득하는 카메라와; 카메라에 의해 획득한 촬상 이미지에 기초하여 개구에 수용된 글래스기판의 두께를 측정하는 제어부를 포함하고, 다면체 프리즘의 복수의 반사면 중 적어도 하나는, 곡면을 가진다. |
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