정전 척 장치

본 발명은, 세라믹스층을 형성할 때에 발생하는 열에 의한 기판과 슬리브의 열팽창의 차이에 기인하여, 세라믹스층에 균열이 생기는 것을 억제한 정전 척 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 본 발명의 정전 척 장치(1)는, 기판(10)과, 기판(10) 상에 적층된 내부 전극(20)을 적어도 포함하는 적층체(2)와, 적층체(2)의 두께 방향의 상면에 적층된 세라믹스층(50)을 구비하고, 기판(10)은, 두께 방향으로 관통하여 마련된 관통 구멍(60)을 가지고, 관통 구멍(60)에 절연성 재료로 이루어지는 슬리브(70)가 삽입되며, 슬리브...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	TOCHIHIRA JUN, HAGIHARA TOMOYA
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!