Chamber wall body chamber and loadlock module
본 발명은 기판처리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 밀폐된 내부공간을 형성하는 챔버를 구성하는 챔버벽체, 챔버 및 로드락모듈에 관한 것이다. 본 발명은, 밀폐된 하나 이상의 내부공간(S)을 형성하는 챔버(1)를 형성하는 복수의 챔버벽체들 중 적어도 하나의 챔버벽체로서, 동일 금속재질을 가지며 적층되는 복수의 플레이트부재(10)를 포함하며 인접한 챔버벽체와 용접에 의하여 결합되는 것을 특징으로 하는 챔버벽체를 개시한다....
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| Hauptverfasser: | , , |
|---|---|
| Format: | Patent |
| Sprache: | eng ; kor |
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| Online-Zugang: | Volltext bestellen |
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| Zusammenfassung: | 본 발명은 기판처리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 밀폐된 내부공간을 형성하는 챔버를 구성하는 챔버벽체, 챔버 및 로드락모듈에 관한 것이다. 본 발명은, 밀폐된 하나 이상의 내부공간(S)을 형성하는 챔버(1)를 형성하는 복수의 챔버벽체들 중 적어도 하나의 챔버벽체로서, 동일 금속재질을 가지며 적층되는 복수의 플레이트부재(10)를 포함하며 인접한 챔버벽체와 용접에 의하여 결합되는 것을 특징으로 하는 챔버벽체를 개시한다. |
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