Continuous purifying object supplying portion and sublimation purifying apparatus having the same

본 발명은 정제 대상물을 가열 및 승화시키는 가열부와, 상기 가열부에 진공을 형성하는 진공부와, 상기 가열부에서 발생되는 승화된 유기물을 포집하는 트랩 유닛을 갖는 승화 정제 장치에 있어서, 상기 승화 정제 장치는, 정제 대상물을 상기 가열부에 포함되는 이너 튜브의 일단에서 타단측으로 연속적으로 공급하는 이송 스크루를 포함하는 연속 정제 대상물 공급부를 제공한다....

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	KYUNG CHUL SHIN, JAE HYUNG LEE, JAE BEOM PARK, SANG MAN SI, GI LIM YOON, JAE MIN LEE, JOHN SOON PARK, JAE HOON KO, YEONG DONG KIM, CHANG MIN KIM, YOUNG JAE MOON, DONG WOO KIM
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC HEATING ELECTRIC LIGHTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING, DISPERSING PERFORMING OPERATIONS PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL SEMICONDUCTOR DEVICES SEPARATION TRANSPORTING
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